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派克Parker高品質減壓閥—助力微電子制造

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人氣:-發表時間:2022-07-29 17:22【

集成電路制造的過程離不開各類不同純度、不同壓力、性質各異的氣體參與。人們通過各種各樣的減壓閥來控制這些氣體壓力,如果說這些減壓閥是氣體控制零件中的皇冠的話,那么派克漢尼汾旗下的SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列超高純減壓閥就是這個皇冠上的明珠。         

SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列減壓閥從誕生至今,始終致力于立足行業應用的前沿領域。 

SQ2MICRO系列    


SMSQ2MICRO系列

-它針對超高純應用而設計,先進的性能和規格使其非常適用于關鍵的半導體制造設備。

-MFC是影響集成電路制造的可重復性及良率的重要組件,SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列減壓閥能提供非常精準和可靠的壓力控制,讓MFC(質量流量計)的表現更加出色。

-除此之外,它還在氣密完整性和顆粒物生成方面表現出色,這些對于減少半導體制程的污染至關重要。

那么,為什么SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列減壓閥有如此好的表現呢?答案藏在細節之中:


首先,減壓閥本體材料采用超過SEMI F20 標準要求的VERICLEANTM 316L不銹鋼,閥門內部為順滑流道結構且經過全電拋光處理。同時,閥門使用C-22哈氏合金作為膜片和閥芯的材料,聯動式閥芯設計使減壓閥內部沒有螺紋和彈簧(螺紋和彈簧是閥門內部顆粒物生成的主要原因)。如此一來,閥門在具備強大抗腐蝕能力的同時,顆粒物生成的可能性也非常低。

其次,聯動式結構設計使得閥芯具備自中心功能,在不同氣流形態下能保持在中心位置,結合更薄更靈敏的哈氏合金膜片,可大幅縮短減壓閥的響應時間,從而提高出口壓力的穩定性。

最后,該系列減壓閥閥門體積經過優化,安裝空間更小,可有效縮小集成電路制造設備的體積,增加潔凈廠房的利用率。與此同時,減少閥門內部空間,在一定程度上縮短設備吹掃和抽真空時長,提高工藝流程效率。

此外,派克漢尼汾的制造和測試流程也為SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列減壓閥的高品質保駕護航:

-在100級的潔凈室中完成組裝、測試、調試以及包裝

-閥門通過氦檢漏測試,達到SEMI行業標準

-閥門經過出口壓力調試!

SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列減壓閥還能提供眾多選項,以符合不同應用需求:

-不同的接口方式,包括Faceseal/Surface Mount

-不同的流通能力, Cv值包括 0.06和0.15

-不同材質的核心部件,閥芯為 Hastelloy C-22,閥座為VESPEL,以應對更嚴苛的應用

如果您是集成電路制造設備的設計者,越早選用SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列減壓閥,將越早獲得成功。即可聯系我們,了解更多派克漢尼汾在微電子行業的儀器儀表解決方案!

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